1、定义不同，去离子水是除去了溶液当中所有呈离子状态的杂质，而超纯水是除了水分子以外的物质没有其他的杂质，换个说法就是除了氧和氢以外没有其他的物质。

2、制备方法不同，制备超纯水需要用蒸馏的方法，以及阴阳离子交换树脂来吸收溶液当中的阴阳离子，而制作去离子水就是用离子交换树脂除去水中的离子杂质。

3、用途不相同，去离子水一般都作为实验室或者是化验室的使用水，而超纯水使用的范围更广，比如会用在电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等。